美国颇尔PALL E503F1QS 半导体超纯水终端滤芯更换案例 应用场景：12 英寸晶圆厂 UPW 终端 POU 过滤滤芯更换

 

美国颇尔PALL E503F1QS 半导体超纯水终端滤芯更换案例

应用场景：12 英寸晶圆厂 UPW 终端 POU 过滤滤芯更换

某半导体厂光刻区超纯水终端采用 E503F1QS（0.05μm 聚砜不对称膜）滤芯，要求产水≥0.05μm 颗粒＜1pcs/mL。原滤芯为 0.1μm 混合纤维素，寿命短、溶出物高，导致晶圆微缺陷率偏高。2024 年 7 月执行百级洁净室更换：系统停机→关闭进出口阀→打开排气阀泄压→拆卸 POU 过滤器外壳→取出旧滤芯→用超纯水（18.2MΩ・cm）冲洗壳体→检查密封面无颗粒→新滤芯在百级环境下拆封→O 形圈用超纯水润湿→垂直安装到位→密封壳体→缓慢开启阀门排气→冲洗 5 分钟→监测颗粒与压差。更换后初始压差 0.05MPa，寿命 90 天，更换压差 0.3MPa。终端产水≥0.05μm 颗粒＜0.1pcs/mL，晶圆缺陷率降低 65%。更换全程在 Class 100 环境下进行，壳体残留 TOC＜0.5ppb，无溶出物、无二次污染，符合 SEMI F20 标准，单次更换耗时 45 分钟，维护后系统连续稳定运行 3 个月。